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新材料在線(xiàn) ID：xincailiaozaixian

圖片：受訪人提供、圖蟲創意

早(zǎo)在1842年，科學(xué)家格波夫(fū)就在實驗室中發現了陰極濺射現象，但由于人們對濺射技術缺乏深入了解，商業化的磁控濺射設(shè)備直到1970年才逐漸應(yīng)用于實驗室和小(xiǎo)型生産。

20世紀80年代以後，随着以集成電路、信息存儲、液(yè)晶顯示器、光存儲器、電子控制器為主的電子與信息産業開(kāi)始進入高速發展時期，磁控濺射技術才從實驗室應用真正(zhèng)進(jìn)入工(gōng)業化規模生(shēng)産應用領域。

然而，直(zhí)到21世紀初，中國的靶(bǎ)材仍高度依賴進口，國内竟無一家企業能夠提供高純(chún)金屬靶材(cái)，市場被日立金(jīn)屬(shǔ)、TDK等海外(wài)企業完全壟斷。

彼時，剛剛經曆轉企改(gǎi)制的有研集團正在尋找産業化(huà)落地的項目，經過一年多時(shí)間(jiān)的調研，有研團隊将目标對準了高純金屬靶材。

據全程(chéng)參與研發的現任有研新材總經理(lǐ)王興權回憶，當時業内對(duì)有研(yán)的選擇反響并不積(jī)極，很多人根本(běn)不相信中(zhōng)國人(rén)還(hái)能生産半導體、集(jí)成電路用靶材。

2005年，剛剛進(jìn)入靶材領域的有研團隊對(duì)靶材技術(shù)的認識(shí)如同一張白紙(zhǐ)，全憑信念支撐(chēng)。

三年以後，有研的靶材進入市場，并獲得(dé)客戶的基本認可，産品開始走向正(zhèng)軌。

2012年(nián)，有研成為批進入(rù)國家重大專項的企業，參與了(le)02專項（集成電路）後期的所有項目。在項目的助力下，憑借對金(jīn)屬(shǔ)材料的深(shēn)刻理解和材料學的長期積累，有(yǒu)研成功突破了集成電路靶(bǎ)材從材料(liào)到制品的全套(tào)技術，讓國産高(gāo)純金屬靶材達到了國(guó)際先進水平，并擁有全部自主知識産權。

用王(wáng)興(xìng)權的話說：“現在的有研可以跟國際上任何微電子材料大公司平等的進行市場(chǎng)對話和技(jì)術對話。”

01

打破國外靶材主導地位指日可待

《大國之材(cái)》：您覺得(dé)我們國内(nèi)的高(gāo)純金屬靶材(cái)目(mù)前的發展(zhǎn)水平處于什麼樣的位置？我們存在哪些發展痛點？

王興權(quán)：我個人認為在微電(diàn)子靶材這塊，中國應該屬于第二梯隊，梯隊(duì)仍然是日(rì)本的GX公司和美國的霍尼爾等公司(sī)。在(zài)過去十幾年(nián)裡，中國的微電子靶材從零開始，能發展到(dào)目前的水平，應該(gāi)說成果(guǒ)是非常顯著的。

當前的行業痛點問題(tí)已經不明顯了，國(guó)内(nèi)的微電子靶材基本已經與國際領先企業處于同一競争水平。原來談到痛點，可以說渾身都是(shì)痛，關鍵指标不清、核心技術不通、市場認可(kě)度低、人才隊伍缺(quē)乏、原材料受制于人等等，都是我們曾經經曆的痛點。

但是國内的(de)微(wēi)電子靶材發展到今天，原來的錐(zhuī)心之痛已經不存在(zài)了。但是，我們畢竟處于第二梯隊，更全(quán)面的描述當前國(guó)内微(wēi)電子靶材的發展水平，我認為是多數跟從，部分平起，個别超越。

《大(dà)國之材》：有研新材近幾年高純金屬(shǔ)靶材的市場營收(shōu)增顯著，您分析主要是哪些原因？

王興權：我(wǒ)覺得高純金屬靶材(cái)的業績增長主要取決于三個因素。首先是大勢，在過去的20年裡邊，中國(guó)的集成(chéng)電子領域是一個穩步增長的發(fā)展階段，中芯國際等優勢企業像(xiàng)雨(yǔ)後春(chūn)筍般湧現出來。

全球(qiú)的微電子領域，年平均的(de)發展(zhǎn)速度大約為4%到5%，但是在過去(qù)的20年内(nèi)，中國微電子領域一直都保持在13%到(dào)14%的發展水平。沒有微電子領域(yù)的快(kuài)速發展，就不可能有相關的領域(yù)裝備和材料的進步(bù)。

其次，有研科技集團（原有色金屬研究總院）主要從事有色金屬領域的共性技術開發，經(jīng)過六十多年的積澱，我們擁有大量(liàng)金屬材料制備和加工技術，對金屬材料的理解非常(cháng)透徹。這些積累為我們在微(wēi)電子材料領域的技術開(kāi)發和提升提供了巨大支撐。

當然，關(guān)鍵的一點(diǎn)，是有研人(rén)的努力和堅持，是一種産業情懷或者說國家情懷，一種我們中國人(rén)必須做得出(chū)、做得好(hǎo)的勁頭。

在我們剛剛進入這個領(lǐng)域的時候(hòu)，範圍内沒有人做微電子(zǐ)靶材，甚至(zhì)做集(jí)成電路相關材料的(de)企業都非常少，那時候靶材被霍尼韋爾、東曹、威廉姆斯、優美科、日礦等國外企業壟斷，中國當時也有幾家公司和科研機構(gòu)想進入這個領域(yù)，但受制于技術門檻和市(shì)場門檻，有些單位進來又(yòu)退出了，有些單位發展止步不前，國産(chǎn)靶材行業發展起起伏(fú)伏。在(zài)這中間(jiān)，有(yǒu)研新材得益于(yú)長期的堅持和持續投入。

當然，國家的重視和支持為我們的發展提供了強大支(zhī)撐。

《大國之材》：2018年靶材市場規(guī)模的增速達到30%，在半導體方面，增速達到60%。随(suí)着5G應用趨(qū)勢的到來，微電子靶材的格局會發生哪些變化？

王(wáng)興權：我認為打破國(guó)外企業占(zhàn)主體的局面，指日可待(dài)。現在國内(nèi)的靶材企業在國際範圍内競争，從(cóng)技術到管理再到市場占有率，已經沒有明(míng)顯的劣勢，尤其是在國内市場方面，這幾年全球集成電路的産業布局向中國大陸在轉移。從(cóng)區域發(fā)展來(lái)看，中國大陸的發展速度會遠遠高于歐美、東南亞、日本、中國台灣等其(qí)他地(dì)區(qū)。在(zài)市場交互和本地化服務(wù)方面，國内企業具備獨特的地緣優(yōu)勢。

但值得注意的是，從新品(pǐn)開發的角度來看，目前絕(jué)大多數新(xīn)産(chǎn)品仍出自國外企業，尤其(qí)是日(rì)本的JX公司，占有靶材新品約(yuē)60%的份額，一直保持着技術原發性優勢，在未來市場中自然也會居于主導地位，因此我們(men)在一段時間内可能還是跟從的狀态。

但新技術的引入，尤其是5G技術的(de)普及将是(shì)一個(gè)非常好的契機(jī)。随着集成電(diàn)路的線寬越來越(yuè)窄，對材料提出了更高的(de)需求，原來的材料組分、純度、組織結構已不足以支(zhī)撐集成電路技術指标的(de)躍升。有研新材對材料的理解是非(fēi)常深的，對材料元素(sù)的控(kòng)制、材料行為控制(zhì)和組(zǔ)織結構控制是我們的強項。這就(jiù)給了我們一次突破老産品的固定格局(jú)，大家站在同一起跑線上的機會。在新産(chǎn)品框架下，我們的材料技術優(yōu)勢将發揮得更淋漓盡緻。

另外(wài)，随着(zhe)電子信息技術的發展和(hé)應用領域的拓寬，芯片的特殊功能性需求越來越高，比如未來一些芯片制程中(zhōng)對材料的磁性能、熱效應、相(xiàng)變反應、壓(yā)電效應等方(fāng)面提出特殊需要，很(hěn)可能已超越了單質材料的物理極限，這時就需要靠(kào)特種合金材料、複(fú)合材(cái)料或不同材料的複合工藝才能滿足性能需求，這就涉及到材料(liào)性質與功(gōng)能的關聯，涉(shè)及到材料的設計(jì)。這時，誰在材(cái)料技術方面積澱深厚，誰在功能材(cái)料開發方面能力(lì)強，誰就能抓住微電子産業的發展(zhǎn)機遇，誰就能成為未來的領跑者。

有研新材辦公樓

02

“電(diàn)磁光醫”協同發展

《大國之材(cái)》：有研新材(cái)目前在新(xīn)材料(liào)領域(yù)所處的一個行業地位如何？

王興(xìng)權：談到在新材料(liào)領域的行業地(dì)位，由于有研新材的産業覆蓋領域(yù)比較廣，需要細分來說，總結起來我們叫“電磁光醫(yī)”四大闆(pǎn)塊引領發展(zhǎn)。

在微電子薄膜材料(liào)領域，目前(qián)我們的全(quán)球市場占有率大概5%，數字并不(bú)大，但這個5%的内涵很重要，可以分三個維度來看。

一是從市場維度來看(kàn)，我們目前以國内客戶為主，國内的(de)客戶覆蓋率接近100%，也就是說國(guó)内幾乎所有微電子企業(yè)都會用到有研新材(cái)的材(cái)料。

二是(shì)從産品覆蓋維度來看，我們自己内(nèi)部一(yī)種說法叫“全(quán)餐”。隻要是(shì)微電子(zǐ)領域用的金屬薄膜材(cái)料，無(wú)論是濺射靶材還是蒸發材料，所有的材料品(pǐn)種、所有的産品型号有研新材都有。

還有一個重要(yào)的維(wéi)度，叫垂直(zhí)一體化。這一點在全球範圍内，隻有(yǒu)日本的JX公司和美國(guó)的(de)霍尼韋爾能夠做得到(dào)（這兩家也(yě)沒全做到）。我們不(bú)僅僅生産靶材和蒸發材料，還可以自己生産制作靶(bǎ)材的微電子級原(yuán)材料， 比如說微(wēi)電子靶材用的銅材，我們能夠把市場上随(suí)處可得的普(pǔ)通的銅材，提純到(dào)“六個九”的電子級(jí)超高純銅。在微電(diàn)子領域，能夠做到原材料不受(shòu)制于人，對于企業的存活和(hé)發展至關重(zhòng)要！

在微電子薄膜(mó)材料領域，有研新材已經(jīng)是國内行業龍頭(tóu)，技術優勢(shì)、人才優勢(shì)、市場優勢已經形成。

在稀(xī)土領域，有研新材應該(gāi)說是範圍内稀土技術能力強全面的企業。有研新材(cái)具(jù)備從稀土(tǔ)選礦、稀土分離，稀土金(jīn)屬制(zhì)備的全流程原(yuán)創技(jì)術。現在全球範圍内70%的稀土選冶都源于我們的技術。目前有研新材是全球能生産多種超高純稀土(tǔ)金屬的企業。我們的稀土發光材料、稀土(tǔ)磁性材(cái)料技術也具備國内領先水平。

在紅外光學材料方面(miàn)，有研一直掌握着行業引領性技術(shù)，中國的根鍺單晶就出自我們之手，目前有研(yán)新材(cái)是國内大的紅外鍺單晶和二六族(zú)晶體生産企業。

在生(shēng)物醫用材料方面，中(zhōng)國根牙弓(gōng)絲、支食道支架、支膽道支架、支前列腺支架等等，都是由我們(men)出品的。

總(zǒng)而言之，有研新材是一家市場導向、技術先導型企業，在材料領域(yù)具有強大的技術創新和技術轉化能力，使企業在發展中始終保持旺(wàng)盛的活力和動力，為企業提供了廣闊的發展空間。

《大國之材》：公司對未來市場(chǎng)的布局，有哪些新的舉措？

王興權：我們從現在的(de)戰略維度上來看，還是圍繞“電磁光醫”這(zhè)四個闆塊，這四個闆塊有(yǒu)不同的定(dìng)位，其資源配置方式和發展模式也不同。

電子薄膜材料闆塊是有研新(xīn)材的核心業務闆塊，也是未來(lái)重點發展的産業領(lǐng)域。公司将持續(xù)加大在這一領域的資源配置(zhì)力度，不斷優化産業布局，壯(zhuàng)大産業規模，并終(zhōng)成為全球領先的微電子薄膜材料(liào)和相關服務的提供者。

稀(xī)土領域，我們(men)将(jiāng)大力推動稀土綠色清潔選冶(yě)技術，提供(gòng)行業服務，助推我國稀土(tǔ)産業的良性發展(zhǎn)，同時充(chōng)分發揮全産業鍊技術優勢(shì)，發(fā)展特種磁性材料産(chǎn)業。

特種光學材料領域，繼續保持行業領頭羊的位(wèi)置(zhì)，充分發(fā)揮核心材料優勢，适度延伸産業鍊。

生物醫用領域，走市場化道路，引入優質的資本方和資(zī)源方，使其(qí)具有高度市場活力和(hé)企業(yè)活力，推動快速發展。